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“芯”突破：国产MEMS产线跑出加速度

产业竞争，本质是创新能力的比拼。

“2025年3月我们首片8英寸MEMS晶圆在蚌埠下线，MEMS就是微机电系统。从首台设备招标到首款产品下线仅用了16个月。”刘纳自豪地表示，这条产线的投产，有效解决国内高端MEMS芯片大多依赖国外进口的局面，同时可为脑机接口柔性电极、光交叉互联等前沿领域提供技术和量产支撑。

“项目团队刚筹建时仅有十几个人，现在发展到300多人，其中本科及以上学历占比达75%，硕博人才超过30%，来自相关头部大厂的资深人员超百人。”刘纳告诉记者，“人才结构的提升，让关键技术攻关具备持续突破的能力。”

人才密度的提升，直接转化为技术厚度的积累。围绕MEMS核心工艺，近些年企业成功开发惯性传感器、光MEMS执行器等六大自主工艺体系，攻克硅硅晶圆级键合等关键技术；聚焦MEMS惯性器件、MEMS压力传感器等七大类产品，形成从研发流片到规模量产的服务能力，产品覆盖长三角、珠三角、京津冀等核心区域。

“目前月产能1万片，我们目标是明年提升至每月3万片，满足更多国产化需求。”刘纳说。产能跃升的背后，是对技术路线自主可控的坚定信念。

作为全国三大传感器研发制造基地之一，蚌埠依托安徽北方微电子研究院集团有限公司等龙头平台，近年来创建省以上创新平台39个，联合高校院所共建科研平台11个，引进院士团队及高层次人才团队52支，累计开展技术攻关项目超百项。高性能惯性导航、磁编码等技术处于国际先进水平，相关产品应用于“嫦娥”“神舟”等国家重大工程，创新势能持续释放。

优生态：全国首部传感产业立法护航

产业的培育与壮大，既需要市场驱动，也离不开制度环境的滋养。

不久前，蚌埠市政府联合省科技厅等部门出台《支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》。与1.0版政策相比，2.0版聚焦智能传感器产业发展最紧迫的需求，从支持产业集聚升级为全产业链深度融合，单个项目省级支持资金突破1亿元。

更具标志性的是，今年3月施行的《蚌埠市促进传感产业发展条例》，是全国首部关于智能传感产业的促进型立法，其围绕技术攻关、成果转化、要素保障等关键环节作出制度安排，为产业发展提供法治支撑。

“稳定的发展环境让企业更有信心。”安徽中科微感科技有限公司总经理孙克说。企业从宁波落户到蚌埠经开区，团队在嗅觉传感器领域具有深厚的技术积淀，目前公司已建成覆盖嗅觉芯片制造到终端产品的生产线，填补国内气味数字化感知技术空白，产品凭借高一致性、高稳定性的优势，正加速在新能源汽车等领域推广应用。

为了让更多创新成果从实验室走向应用场，蚌埠还持续完善创新服务体系，推进共性技术中心建设，构建“概念验证—孵化培育—小试中试”创新服务链条。通过强化应用牵引，该市深度挖掘城市管理、医疗健康等场景资源，30多项新产品成功应用在城市生命线、老旧小区改造等领域，蚌医大一附院完成国内首例无创脑机接口治疗急性脑梗肢体偏瘫，脑机接口产业初步形成“硬科技+强医疗”发展态势。

从一条全自动化晶圆产线的建成，到一个产业生态的逐步完善，蚌埠正在用“感知之芯”重塑产业底座。

对这座老工业城市而言，智能传感不仅是充满机遇的产业赛道，更是一条通向未来的转型路径。当越来越多的传感器从这里走向市场、嵌入万物互联的应用场景，蚌埠“智造之城”的发展图景也将更为可期。