合肥新站高新区

新项目助力“芯”突破

版次:09  2025年10月22日

10月15日下午,鋐棋(合肥)科技有限公司半导体关键设备灯罩组件及耗材项目正式签约,落户合肥新站高新区,项目投产后将填补国内半导体核心高精密耗材空白。据不完全统计,这是该区今年以来签约的第12个泛半导体项目。目前,合肥新站高新区已汇聚集成电路上下游产业链企业65家、从业人员近万人、总投资超千亿元。

自2015年5月第一家芯片企业合肥晶合集成电路股份有限公司落户以来,经过10年培育,从设计、制造,到封装、测试,合肥新站高新区聚焦产业重大关键“卡点”,串点连线,以创新助力芯片应用国产化。

据台湾鋐杰科技股份有限公司总经理陈明杰介绍,鋐棋(合肥)科技有限公司是一家专注于半导体高端精密耗材研发与制造的高新技术企业,致力于在国内实现半导体核心零部件的本土化生产与创新突破。

项目从首次洽谈到正式签约仅用时3个月,再一次上演“合肥速度”。“主要产品包括半导体设备中的关键耗材,如shower head(气体分布盘)和lamp housing(灯罩组件),广泛应用于先进制程工艺。未来,鋐棋科技将成为国内少数能够量产5纳米先进制程核心零部件的企业之一,展现出强大的技术实力和制造水平。”鋐棋(合肥)科技有限公司副总经理刘帅说。

据悉,该项目总投资2亿元,主要从事光刻、蚀刻、薄膜、扩散等先进制程以及RTP(快速热处理)设备核心零部件等耗材制造。项目建成后,将实现半导体设备关键耗材国产化替代,以降低对国外供应链的依赖,保障产业链安全。

“从设计、制造,再到封装、测试,新站高新区目前已经形成比较完整的半导体产业链布局。该项目投产后,又将补上半导体产业供应链一块短板。”合肥新站高新区相关负责人表示。(吕珂)